COLUMN
コラム
2024.12.17
グリーンシートの膜厚と収縮率の関係
山村フォトニクスのグリーンシートは、厚みを調整することが可能です。品種によって多少の違いはありますが、GCS71系の標準品番の場合、30~300μmの範囲での作製が可能です(ただし、薄くて大きいシートの場合は取り扱いが難しくなります。例えば□500mm×t30μmなど)。
今回は、グリーンシートの膜厚と収縮率の関係をご紹介したいと思います。
シート焼成時の収縮率は、グリーンシートの膜厚によって変化します。下記は、グリーンシートの膜厚を変えた場合のXY収縮率の中心値をプロットしたグラフです。膜厚が大きくなるほどXY収縮率は大きくなり、例えば膜厚200umだと収縮率の中心値が13.5%となるのに対し、膜厚100umだと収縮率中心値13.1%、そして膜厚50umの場合には12.8%が収縮率の中心値となっています。膜厚200umのシートと膜厚50umのシートを比較すると、0.7%の収縮率の差があります。
山村フォトニクスのグリーンシートの場合、膜厚が薄いと密度は高くなり、膜厚が厚いと密度が低くなる傾向があるため、このように膜厚(=グリーンシート密度)によってXY収縮率に違いが発生します。弊社のグリーンシートを用いて製品を設計される際は、この膜厚の影響にご留意頂ければ幸いです。